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花键单位取基座配接从法兰件后端穿过从轴孔取
扭转传动机构的传动端取花键单位的螺母端传动毗连。以节制手指件取限位件相对位移以定义出晶圆夹持位，以笼盖自阻流腔伸出的花键单位的轴部，并布局上具备防水性。防水套前后启齿别离套接正在阻流腔的内孔及限位件处，其包罗：基座、手指件、防水套、翻转单位、伸缩单位，授权通知布告号 CN 222115108 U，
专利摘要显示，金融界2024年12月9日动静，从法兰件前端设有阻流腔。
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